ATLANT 3D DALP® technology
ATLANT 3D 直接原子层打印系统
开创式的直接原子层打印（DALP® ）技术，精准控制沉积，实现无掩膜一步式图案化 ALD
直接原子层打印技术代表了制造方法的根本性转变。通过将时间和空间原子层处理集成到单一系统中，我们创建了一种直接进行无掩膜图案化ALD工艺的技术。 专有的微化学反应器能够精确控制分子沉积，同时无需传统的光掩模和多个工艺步骤。
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